応用
オールインワンの設計、スマート構造、形状。スキャンヘッドとサンプルステージは一緒に設計されており、強力な防止性パフォーマンス。プレシションレーザー検出とプローブアライメントデバイスにレーザー調整をシンプルで簡単にします。または自動的に、精密スキャン領域の位置付けを実現するために。高精度と広範囲のサンプル転送デバイスは、サンプルの興味深い領域をスキャンすることができます。さまざまなタイプのスキャナーは、異なる顧客の要件を正確性とスキャンサイズで満たします。 Positioning.CCDオブザービングリアルタイムのサンプルエリアの観測システム観測と位置。サーボモーターを使用してCCD自動焦点を焦点を合わせた電子システムは、メンテナンスと開発のためのモジュラーで簡単なものとして設計されています。
重要な機能
1.スキャンヘッドとサンプルステージが一緒に設計され、強力な振動性パフォーマンス
2.精密レーザー検出およびプローブアライメントデバイスレーザー調整をシンプルで簡単にします。
3.サーボモーターを適応させて、サンプルに近づく先端を手動または自動的に駆動し、精密スキャンエリアの位置付けを実現します。
4.高精度と広範囲のサンプル転送デバイスにより、サンプルの興味深い領域をスキャンできます。
5。チップチェックとサンプルの位置決めのための光学観測システム。
6.電子システムは、メンテナンスとさらなる開発のためのモジュール式で簡単なものとして設計されています。
7.振動の分離、シンプルで良好なパフォーマンスのためにスプリングを採用します。
仕様
| 手術 | コンタクトモード、摩擦モード、 | スキャン角度 | ランダム |
| サンプルサイズ | Ø≤90mm、H≤20mm | サンプルの動き | 0〜20mm |
| マックス。スキャン | X/Y：20μm、Z：2μm | 近づくモーターのパルス幅 | 10±2ms |
| 解決 | x/y：0.2 nm、z：0.05nm | 光システム | 拡大：4x、 |
| スキャンレート | 0.6Hz〜4.34Hz | データポイント | 256×256,512×512 |
| 走査 | XY：18ビットD/A、Z：16ビットD/A | フィードバックタイプ | DSPデジタルフィードバック |
| データサンプリング | 1つの14ビットA/Dおよびダブル16ビットA/D複数チャンネルを同時に | ||
| PC接続 | USB2.0 | フィードバックサンプリングレート | 64.0kHz |
| Windows | Windows 98/2000/XP/7/8と互換性があります | ||
標準
GB/T 2985-1991
本当の写真
