応用
オールインワン設計、スマートな構造と形状。スキャンヘッドとサンプルステージは一緒に設計されており、強力な耐振動性能を備えています。高精度のレーザー検出とプローブアライメントデバイスにより、レーザーの調整が簡単かつ簡単になります。サンプルに近づくチップを手動で駆動するためにサーボモーターを適合させます。高精度で広範囲のサンプル転送デバイスにより、サンプルの任意の興味深い領域をスキャンできます。さまざまなタイプのスキャナが、精度とスキャンサイズにおけるさまざまな顧客の要件を満たします。チップチェックおよびサンプル用の光学観察システムリアルタイムのサンプル領域の観察と位置決めのためのCCD観察システム。サーボモータを使用してCCDオートフォーカスを実現します。電子システムはモジュール式に設計されており、メンテナンスと開発が簡単です。さらなる開発のために多くの動作モード制御電子機器と統合されています。
主な特長
1. スキャンヘッドとサンプルステージは一緒に設計されており、強力な耐振動性能を備えています。
2. 高精度のレーザー検出とプローブ位置合わせ装置により、レーザーの調整が簡単かつ簡単になります。
3. サーボモーターを調整してサンプルに近づくチップを手動または自動で駆動し、正確なスキャン領域の位置決めを実現します。
4.高精度かつ広範囲のサンプル転送デバイスにより、サンプルのあらゆる興味深い領域をスキャンできます。
5. チップチェックとサンプルの位置決めのための光学観察システム。
6. 電子システムはモジュール式に設計されており、メンテナンスやさらなる開発が容易です。
7.防振用のスプリングを採用し、シンプルで優れた性能を発揮します。
仕様
手術 | 接触モード、摩擦モード、 | スキャン角度 | ランダム |
サンプルサイズ | Ø≤90mm、H≤20mm | サンプルの動き | 0~20mm |
最大。スキャン | X/Y:20μm、Z:2μm | 接近モーターのパルス幅 | 10±2ms |
解決 | X/Y:0.2nm、Z:0.05nm | 光学系 | 倍率:4倍、 |
スキャン速度 | 0.6Hz~4.34Hz | データポイント | 256×256,512×512 |
走査 | XY:18ビットD/A、Z:16ビットD/A | フィードバックの種類 | DSPデジタルフィードバック |
データサンプリング | 1 つの 14 ビット A/D と 2 つの 16 ビット A/D マルチチャネルを同時に実行 | ||
パソコン接続 | USB2.0 | フィードバックサンプリングレート | 64.0KHz |
ウィンドウズ | Windows 98/2000/XP/7/8と互換性があります |
標準
GB/T 2985-1991
本物の写真