1。光学金属顕微鏡と原子力顕微鏡の統合設計、強力な機能
2.光学顕微鏡と原子間力顕微鏡イメージング機能の両方があり、どちらも互いに影響を与えることなく同時に機能する可能性があります
3.通常の空気環境、液体環境、温度制御環境、不活性ガス制御環境で同時に機能することができます
4.サンプルスキャンテーブルとレーザー検出ヘッドは閉じたタイプで設計されており、シーリングカバーを追加せずに、特別なガスを埋めて排出できます。
5.レーザー検出は、垂直光学パス設計を採用し、ガス液体デュアルパスプローブホルダーとともに液体の下で動作することができます
6.単軸ドライブサンプルは自動的にプローブに垂直に近づき、針の先端がサンプルに対して垂直にスキャンされるようになります。
7.運動制御された加圧圧電セラミック自動検出のインテリジェントな針給餌方法は、プローブとサンプルを保護します
8.プローブとサンプルスキャン領域の正確な位置決めを実現するための超高倍率光学位置付けシステム
9.統合スキャナー非線形補正ユーザーエディター、ナノメートルの特性評価と測定精度は98%を超えています
仕様:
動作モード | タッチモード、タップモード |
オプションモード | 摩擦/横方向の力、振幅/相、磁気/静電力 |
力スペクトル曲線 | FZ力曲線、RMS-Z曲線 |
XYスキャン範囲 | 50*50um、オプション20*20um、100*100um |
Zスキャン範囲 | 5um、オプションの2um、10um |
スキャン解像度 | 水平0.2nm、垂直0.05nm |
サンプルサイズ | φ≤68mm、H≤20mm |
サンプルステージ旅行 | 25*25mm |
光の接眼レンズ | 10x |
光学目標 | 5x/10x/20x/50xプランApochromatic目標 |
照明方法 | Le Kohler照明システム |
光焦点 | ラフなマニュアルフォーカス |
カメラ | 5MP CMOSセンサー |
画面 | グラフ関連測定機能を備えた10.1インチフラットパネルディスプレイ |
暖房装置 | 温度制御範囲:室温〜250℃(オプション) |
ホットおよびコールド統合プラットフォーム | 温度制御範囲:-20℃〜220℃(オプション) |
スキャン速度 | 0.6Hz-30Hz |
スキャン角度 | 0-360° |
動作環境 | Windows XP/7/8/10オペレーティングシステム |
通信インターフェイス | USB2.0/3.0 |
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