1.レーザー検出ヘッドとサンプルスキャン段階が統合されており、構造は非常に安定しており、干渉防止は強いです
2.PRECISION PROBE POSIATHINGデバイス、レーザースポットアライメント調整は非常に簡単です
3.シングル軸ドライブサンプルは、針の先端がサンプルスキャンに垂直になるように、プローブに自動的にアプローチします
4.運動制御された加圧圧電セラミック自動検出のインテリジェントな針給餌方法は、プローブとサンプルを保護します
5.自動光学的位置決め、焦点を合わせる必要はありません、プローブサンプルスキャン領域のリアルタイムの観測と位置決め
6.スプリングサスペンション衝撃防止法、シンプルで実用的な優れた衝撃効果
7.金属シールド防音ボックス、組み込みの高精度温度と湿度センサー、作業環境のリアルタイム監視
8.統合スキャナー非線形補正ユーザーエディター、ナノメートルの特性評価と測定精度は98%を超えています
動作モード | タッチモード、タップモード |
オプションモード | 摩擦/横方向の力、振幅/相、磁気/静電力 |
力スペクトル曲線 | FZ力曲線、RMS-Z曲線 |
XYスキャン範囲 | 20*20um、オプション50*50um、100*100um |
Zスキャン範囲 | 2.5um、オプション5um、10um |
スキャン解像度 | 水平0.2nm、垂直0.05nm |
サンプルサイズ | φ≤90mm、H≤20mm |
サンプルステージ旅行 | 15*15mm |
光学観察 | 4倍光学目的レンズ/2.5um解像度 |
スキャン速度 | 0.6Hz-30Hz |
スキャン角度 | 0-360° |
動作環境 | Windows XP/7/8/10オペレーティングシステム |
通信インターフェイス | USB2.0/3.0 |
衝撃吸収デザイン | スプリングサスペンド/金属シールドボックス |
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