1.光学金属顕微鏡と原子間力顕微鏡の統合設計、強力な機能
2.光学顕微鏡と原子間力顕微鏡の両方のイメージング機能を備えており、両方とも相互に影響を与えることなく同時に動作できます。
3.光学二次元測定と原子間力顕微鏡三次元測定の機能を同時に備えています
4. レーザー検出ヘッドとサンプル走査ステージが統合されており、構造が非常に安定しており、干渉防止が強力です。
5. 精密プローブ位置決め装置、レーザースポットの位置合わせ調整が非常に簡単
6. 単軸駆動サンプルは自動的にプローブに垂直に近づき、ニードルの先端がサンプルに対して垂直にスキャンされます。
7. モーター制御加圧圧電セラミック自動検出のインテリジェントな針送り方式により、プローブとサンプルを保護します。
8. プローブとサンプルのスキャン領域の正確な位置決めを実現する超高倍率光学位置決めシステム
9.統合スキャナー非線形補正ユーザーエディター、ナノメートル特性評価および98%以上の測定精度
仕様:
動作モード | タッチモード、タップモード |
オプションモード | 摩擦・横力、振幅・位相、磁気・静電力 |
力のスペクトル曲線 | FZフォースカーブ、RMS-Zカーブ |
XYスキャン範囲 | 50*50um、オプションで20*20um、100*100um |
Zスキャン範囲 | 5um、オプションで2um、10um |
スキャン解像度 | 水平0.2nm、垂直0.05nm |
サンプルサイズ | Φ≤68mm、H≤20mm |
サンプルステージの移動量 | 25*25mm |
光学接眼レンズ | 10倍 |
光学対物レンズ | 5X/10X/20X/50X プランアポクロマート対物レンズ |
照明方式 | LE コーラー照明システム |
光学式集光 | ラフなマニュアルフォーカス |
カメラ | 5MP CMOSセンサー |
画面 | グラフ関連測定機能を備えた10.1インチフラットパネルディスプレイ |
スキャン速度 | 0.6Hz~30Hz |
スキャン角度 | 0~360° |
動作環境 | Windows XP/7/8/10 オペレーティング システム |
通信インターフェース | USB2.0/3.0 |
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